截至2026年3月30日 13:33，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.95%，半导体设备ETF易方达(159558)一度涨超3%，现涨2.83%，盘中换手5.5%，成交2.72亿元。

截至3月27日，半导体设备ETF易方达(159558)近1周规模增长2.70亿元，近1周份额增长2500.00万份，实现显著增长。资金流入方面，半导体设备ETF易方达(159558)近5个交易日内，合计“吸金”2910.82万元。

消息面上，SEMICON China 2026展会期间，北方华创发布全新一代12英寸高端ICP刻蚀设备NMC612H，将小尺寸刻蚀深宽比提升至数百比一，均匀性进入埃米级时代；中微公司推出Primo Angnova等离子体刻蚀设备及Primo Domingo高选择性刻蚀机，覆盖5纳米及以下逻辑芯片与先进存储制造需求；拓荆科技则推出Volans 300键合空洞修复设备，填补3D IC良率提升关键环节空白。国产设备厂商正从单点突破迈向平台化、系统化发展，技术能力持续向国际一线靠拢。

东方证券指出，先进封装设备重要性提升，头部设备厂商持续深化布局。部分投资者低估了未来先进封装设备的市场体量。先进封装设备在未来半导体产业中的重要性持续提升，头部设备厂商正持续深化布局。本次SEMICON 上，部分头部半导体设备厂商在先进封装设备领域集中发力产品突破。

相关标的：半导体设备ETF易方达（159558，A/C：021893/021894），紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

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