3月30日，截至13:31，半导体材料设备指数上涨2.65%。个股方面，华海清科涨超6%，安集科技、中微公司等涨超4%，北方华创、拓荆科技等涨超3%，中科飞测涨超2%，长川科技涨超1%。

热门ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）当前成交额2.71亿元，换手率5.48%。

消息面上，3月30日飞凯材料披露，一季度公司半导体材料产品销售态势稳健，整体经营情况良好，公司依托各业务板块技术协同优势，深化与客户协同研发，持续优化研发效率与成本控制，不断拓宽产品矩阵，致力于为下游领域提供高适配性关键材料及完整配套解决方案。同日，国家知识产权局公开两项半导体相关专利，海光信息申请的“半导体器件制备方法及半导体器件”专利可优化膜层凹陷和材料残留问题，保障半导体器件性能与良率；合肥玖福半导体申请的“半导体支撑底座及其制备方法”专利可加快电路板热量散发速度。

中信证券指出，SEMICON CHINA 2026展现了中国半导体产业从单点突破到全产业链崛起、从成熟制程到先进制程突破、从国内市场到全球市场拓展的三大趋势。随着国产半导体设备、零部件、材料全环节的逐步突破，先进制程产品批量落地，海外依赖度持续下降，本土企业成为产业增长核心动力。预计未来国内头部晶圆厂将持续扩产，先进制程产线建设提速，将为国产设备与材料提供巨大市场空间，进一步推动国产替代进程。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。

半导体设备ETF易方达（159558）场外联接基金为（021893、021894）。

风险提示：基金有风险，投资需谨慎。