晋华集成电路申请晶圆预校准装置专利，延长预校准卡盘和晶圆预校准装置的使用寿命_资讯

晋华集成电路申请晶圆预校准装置专利，延长预校准卡盘和晶圆预校准装置的使用寿命

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2026-08-20 13:25:49

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国家知识产权局信息显示，福建省晋华集成电路有限公司申请一项名为“晶圆预校准装置、光刻机及晶圆静电消除方法”的专利，公开号CN122592739A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆预校准装置、光刻机及晶圆静电消除方法。其中，晶圆预校准装置包括预校准卡盘、多个气流喷口、定心卡盘和离子发生器。如此可利用设置在气流喷口内的离子发生器产生的离子流，消除晶圆背面上堆积的静电，避免污染物在预校准卡盘的表面沉积，改善预校准卡盘的表面平整度，并最终延长预校准卡盘和晶圆预校准装置的使用寿命。

天眼查资料显示，福建省晋华集成电路有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3447733.068816万人民币。通过天眼查大数据分析，福建省晋华集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目559次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息1043条，此外企业还拥有行政许可86个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示福建省发生器投资装置离子集成电路静电专利准卡盘晶圆晋华预校

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