东方晶源申请半导体的带电离子束检测方法专利，提高了检测成像质量_资讯

东方晶源申请半导体的带电离子束检测方法专利，提高了检测成像质量

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2026-07-11 23:24:09

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国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“半导体的带电离子束检测方法及相关产品”的专利，公开号CN122361474A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明提供了一种半导体的带电粒子束检测方法及相关产品。带电粒子束检测方法包括获得用以通过带电粒子束对目标样品检测的设定工艺参数，和用以表征在设定工艺参数条件下应达到的成像质量的目标成像参数；在通过带电粒子束对目标样品检测的情况下，检测目标样品表面上的当前电势值，并判断当前电势值是否达到预设的电势阈值；如达到，则对目标样品执行电荷中和处理。本带电粒子束检测方法避免了由于电荷积累导致的检测图像失焦、样品局部放电等问题，提高了检测成像质量，且使得带电粒子束检测和成像设备能够针对不同的应用场景动态地调整预设的电势阈值，从而在各种应用场景下均提高了检测成像质量。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目52次，财产线索方面有商标信息174条，专利信息448条，此外企业还拥有行政许可18个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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