鼎新至测申请应用于半导体材料与工艺开发的zeta电势测量装置及方法专利,显著提升了测量的适应性、精度与效率
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2026-05-27 23:17:35
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国家知识产权局信息显示,鼎新至测(北京)科技有限公司申请一项名为“一种应用于半导体材料与工艺开发的zeta电势测量装置及方法”的专利,公开号CN122084722A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本发明公开了一种应用于半导体材料与工艺开发的zeta电势测量装置及方法,属于表面电化学测量与半导体材料表征技术领域。该装置包括样品旋转单元用于固定并旋转待测样品,液体输送单元包括工作电极、泵和液体容器,工作电极通过泵连接液体容器,用于将待测液体输送至待测样品表面形成液体层,电极测量单元包括参考电极,参考电极设置在待测样品的周侧,用于检测液体层中因样品旋转产生的流电势,电极测量单元连接信号处理单元,信号处理单元用于根据流电势计算样品表面的zeta电势。本发明实现了在半导体复杂液体中对单一、不规则样品的高信噪比测量,无需已知德拜长度,且液体暴露时间短,显著提升了测量的适应性、精度与效率。

天眼查资料显示,鼎新至测(北京)科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,鼎新至测(北京)科技有限公司专利信息2条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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