华虹半导体申请超级结绝缘栅双极型晶体管及其制造方法专利,提升了器件电学特性的均匀性与一致性
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2026-08-15 15:23:50
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国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、华虹半导体制造(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“超级结绝缘栅双极型晶体管及其制造方法”的专利,公开号CN122579638A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明提供一种超级结绝缘栅双极型晶体管及其制造方法。该方法包括:提供划分为有源区和终端区且内含超级结结构的半导体衬底;在衬底表面依次形成半导体外延层和场介质层;在场介质层表面形成图形化掩膜层,以此为掩膜刻蚀有源区场介质层,保留终端区场介质层形成场介质终端;保留该掩膜层对有源区进行离子注入,形成载流子存储注入层;最后去除掩膜层。本发明通过共用同一掩膜版完成场介质终端的定义和载流子存储注入,实现了两者的自对准,消除了对准误差,节省了光刻版成本,简化了工艺流程,提升了器件电学特性的均匀性与一致性。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2097条,此外企业还拥有行政许可119个。

华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目378次,专利信息252条,此外企业还拥有行政许可233个。

上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目931次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息7894条,此外企业还拥有行政许可464个。

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来源:市场资讯

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