新微技术申请红外传感器桥臂结构专利,桥臂结构稳定且不易变形
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2026-03-19 23:49:14
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国家知识产权局信息显示,上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种红外传感器桥臂结构、具有桥臂结构的芯片及其制备方法”的专利,公开号CN121677947A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,一种红外传感器桥臂结构、具有桥臂结构的芯片及其制备方法,涉及一种红外传感器桥臂结构,包括:上膜层、金属层以及下膜层;上膜层应力为正,下膜层应力为负;上膜层与下膜层应力绝对值相同,均为100MPa。本申请通过调整化学气相沉积工艺的功率、频率、温度以及反应腔压力,制备上膜层应力为正,下膜层应力为负,且上下膜层应力绝对值均为100MPa的桥臂结构,桥臂结构稳定且不易变形;并通过调整化学气相沉积工艺的沉积时间,改变上下膜层的厚度,上膜层厚度小于下膜层厚度,桥臂的变形率最低。

天眼查资料显示,上海新微技术研发中心有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业,参与招投标项目492次,财产线索方面有商标信息52条,专利信息843条,此外企业还拥有行政许可47个。

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来源:市场资讯

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