华润微电子申请半导体器件及其制造方法专利,实现电荷补偿
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2026-03-07 19:56:50
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国家知识产权局信息显示,无锡华润微电子有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN121619903A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,一种半导体器件及其制造方法,该器件包括:基底,基底中形成有体区、源区和柱状掺杂区,柱状掺杂区的顶部低于体区的底部,柱状掺杂区至少包括第一柱状掺杂区;形成于基底的第一表面的第一沟槽和第二沟槽;包围第一沟槽底部的第一屏蔽区和包围第二沟槽底部的第二屏蔽区,第一屏蔽区的底部连接第一柱状掺杂区的顶部,第二屏蔽区的底部连接第二柱状掺杂区的顶部;位于第一沟槽和第二沟槽一侧的侧壁的鳍状栅极;覆盖鳍状栅极的层间介电层;源极接触层,与源区的顶部、以及第一沟槽和第二沟槽内壁相接触。该器件能够实现电荷补偿,降低沟道电阻,提高栅极介电层的可靠性。

天眼查资料显示,无锡华润微电子有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本57000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡华润微电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目2776次,财产线索方面有商标信息22条,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可189个。

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来源:市场资讯

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