朗姆研究公司申请用于逻辑和存储器的钼金属化及填充技术专利，单室金属化工艺_资讯

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2026-03-07 14:15:37

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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于逻辑和存储器的钼金属化及填充技术”的专利，公开号CN121620607A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明提供用于在特征中沉积钼的方法和相关的装置。根据各种实施方案，在一些实施方案中，这些方法包括单室金属化工艺。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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