中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,提高半导体器件的制作良率
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2026-03-06 18:46:54
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121619944A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,包括:提供基底;在所述基底上形成多个半导体鳍,所述基底包括器件区以及位于器件区之间的隔离区;形成横跨所述多个半导体鳍的多个伪栅;在伪栅露出的半导体鳍中形成源漏掺杂层;去除隔离区的源漏掺杂层以及位于源漏掺杂层下方的半导体鳍,形成鳍切沟槽;在所述鳍切沟槽中填充介质材料,形成第一隔断扩散结构,所述介质材料还覆盖所述源漏掺杂层,形成层间介质层;去除位于层间介质层中的伪栅,在伪栅位置处形成栅极结构;去除鳍切沟槽相邻的栅极结构,形成隔离扩散槽;在所述隔离扩散槽中形成第二隔断扩散结构。本发明实施例有利于提高半导体器件的制作良率。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目118次,财产线索方面有商标信息153条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可447个。

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来源:市场资讯

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