鹏芯微申请半导体结构及其制造方法专利,提升PMOS器件性能
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2026-02-03 20:46:40
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国家知识产权局信息显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN121442753A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本公开提供了一种半导体结构及其制造方法,涉及半导体技术领域,所述方法包括:提供衬底结构,所述衬底结构包括:衬底;在所述衬底上的层间电介质层,所述层间电介质层具有延伸到所述衬底的至少一个沟槽,所述至少一个沟槽包括用于PMOS器件的第一沟槽;在所述第一沟槽的底部和侧壁上的电介质层;和在所述电介质层上的P型功函数层;在所述至少一个沟槽中形成第一N型功函数层;以及在形成所述第一N型功函数层后,在所述第一沟槽中依次形成阻挡层和PMOS器件的电极,其中,所述阻挡层中的元素包含钛、氮和硅。

天眼查资料显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目21次,财产线索方面有商标信息50条,专利信息107条,此外企业还拥有行政许可215个。

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来源:市场资讯

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