北方华创申请半导体工艺设备进气组件专利，有利于提升清洗效果_资讯

北方华创申请半导体工艺设备进气组件专利，有利于提升清洗效果

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2026-02-03 20:45:36

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其进气组件、分气件”的专利，公开号CN121428531A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备及其进气组件、分气件，属于半导体技术领域。半导体工艺设备包括腔室本体、基座以及支撑轴，基座设置于腔室本体内，支撑轴贯穿腔室本体并与基座相连，用于半导体工艺设备的分气件为环状结构，分气件用于套设于支撑轴的外部，且分气件用于连接腔室本体，分气件设有用于供清洗气体流通的分气通道，分气通道可对清洗气体进行分流，以使经分气件流出的清洗气体形成环绕支撑轴的旋转气流。进气组件包括上述的分气件。如此设置，旋转气流逐渐抵达基座的底面并进行扩散，清洗气体在非工艺反应区域内进行扩散，进而对非工艺反应区域全面清洗，有利于提升清洗效果，避免基座的下方区域进行镀膜或者产生颗粒。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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