江苏半导体设备企业，启动IPO
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2026-01-29 15:14:32
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中国科学院微电子研究院持股。
作者 | ZeR0
编辑 | 漠影
芯东西1月23日报道，1月22日，证监会官网披露，江苏邳州半导体设备企业鲁汶仪器在江苏证监局办理上市辅导备案登记，启动A股IPO进程，辅导机构是中信证券。
鲁汶仪器成立于2015年9月，注册资本为1.96亿元，法定代表人是董事长许开东。其控股股东Leuven Instruments持股19.82%。
企业信用查询平台企查查显示，中国科学院微电子研究院是鲁汶仪器的股东之一，持股2.98%。
官网显示，鲁汶仪器致力于为集成电路制造产业提供先进的装备和工艺解决方案，针对逻辑、存储、功率器件、光学、微显示等领域的关键工艺道次，研发了业界领先的离子束塑形设备（IBS）、离子束沉积设备（IBD）等，也提供电感耦合等离子体刻蚀设备（ICP）、薄膜沉积设备（CVD），以及气相分解金属沾污收集设备（VPD）等晶圆工艺制造设备与检测设备。
2025年9月，鲁汶仪器入选2025年江苏独角兽企业名单。
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