北方华创取得半导体工艺腔室和半导体工艺设备专利，防止工艺盘滑动与基座剐蹭_资讯

北方华创取得半导体工艺腔室和半导体工艺设备专利，防止工艺盘滑动与基座剐蹭

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2026-01-24 15:47:21

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺腔室和半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223829770U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请实施例提供了一种半导体工艺腔室和半导体工艺设备，其中，所述半导体工艺腔室包括：腔体、工艺盘、基座、第一抵挡件和第二抵挡件；所述腔体设有容置腔，所述工艺盘、所述第一抵挡件和所述第二抵挡件均设置于所述容置腔内，所述工艺盘套设于所述基座外，所述工艺盘夹于所述第一抵挡件和所述第二抵挡件之间。由于工艺盘夹于第一抵挡件和第二抵挡件之间，这样，可以利用第一抵挡件和第二抵挡件对工艺盘进行限位，以防止工艺盘滑动而与基座剐蹭。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1363次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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