洪镭光学：半导体掩模版光刻机与TGV玻璃基板光刻机完成订单交付
创始人
2025-11-19 11:09:21
0次
钛媒体App 11月19日消息，近日，洪田股份旗下洪镭光学自主研发的应用于半导体掩模版领域的直写光刻机与TGV玻璃基板直写光刻机顺利下线，完成打包装运并发往订单需求客户。此次下线并交付的掩模版直写光刻机，是一台最小线宽线距解析能力为2.5μm，对位精度为±2μm的高精度的激光直写光刻设备，可满足客户L/S为3μm的掩模版产品的量产光刻需求。同时下线并交付客户的另一台直写光刻机，是应用于TGV玻璃基板领域，最小线宽线距解析能力为6μm，对位精度为±4μm，可满足510mm*515mm尺寸TGV玻璃基板生产需求的直写光刻设备。（广角观察）
相关内容
热门资讯
南京飞恩微电子申请真空度压力传...
国家知识产权局信息显示，南京飞恩微电子有限公司申请一项名为“一种真空度压力传感器”的专利，公开号CN...
新厚泰电子申请具有分布式电池供...
国家知识产权局信息显示，深圳市新厚泰电子科技有限公司申请一项名为“一种具有分布式电池供能的LED微型...
青岛聚看云科技申请图像检测方法...
国家知识产权局信息显示，青岛聚看云科技有限公司申请一项名为“一种图像检测方法及电子设备”的专利，公开...
七华电子取得收银机用铝合金支架...
国家知识产权局信息显示，七华电子（昆山）有限公司取得一项名为“一种收银机用铝合金支架及收银机和收银秤...
美仁半导体申请电容检测电路专利...
国家知识产权局信息显示，上海美仁半导体有限公司申请一项名为“电容检测电路、电容触控感测电路及触控装置...
晶合集成获得发明专利授权：“嵌...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“嵌入...
搭载锐龙嵌入式R2544，AC...
IT之家 4 月 4 日消息，ACEMAGIC 阿迈奇早前曾预热了基于 AMD 锐龙 7 3750H...
灏钻科技取得壁挂式净水器电源线...
国家知识产权局信息显示，宁波灏钻科技有限公司取得一项名为“一种壁挂式净水器电源线固定装置”的专利，授...
移动电源应标注专属“身份证号码...
工业和信息化部会同有关部门组织制定的强制性国家标准《移动电源安全技术规范》3日发布，将于2027年4...
“充电宝”“户外电源”有了新国...
国家标准化管理委员会近日发布公告，《移动电源安全技术规范》（GB 47372—2026）（以下简称《...