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矽电半导体申请晶圆卡盘运动控制方法专利，准确地将晶圆卡盘送达目标位置

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2026-09-13 11:07:13

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国家知识产权局信息显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司申请一项名为“一种晶圆卡盘的运动控制方法及相关装置”的专利，公开号CN122732489A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本申请涉及晶圆卡盘技术领域，尤其涉及一种晶圆卡盘的运动控制方法及相关装置。所述方法包括接收位置命令，根据位置命令确定目标位置；获取反馈位置，并确定位置误差；根据位置误差输出目标速度；获取实际速度，确定速度误差；根据速度误差确定目标电流值；获取电机的实际电流值，根据目标电流值与实际电流值确定电流误差；根据电流误差生成所述伺服驱动器的目标脉冲信号。本申请能够提高对晶圆卡盘的运动控制精度，准确地将晶圆卡盘送达目标位置。

天眼查资料显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司，成立于2003年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4172.7274万人民币。通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目97次，财产线索方面有商标信息30条，专利信息481条，此外企业还拥有行政许可17个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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