中微公司获得发明专利授权:“一种控温系统、半导体处理设备及温度控制方法”
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2026-09-11 06:50:12
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种控温系统、半导体处理设备及温度控制方法”,专利申请号为CN202411216388.9,授权日为2026年9月8日。

专利摘要:本发明公开了一种控温系统、半导体处理设备及温度控制方法,控温系统包括:第一温控源~第三温控源和第一三通阀~第五三通阀,本发明提供的控温系统通过第一~第五三通阀的组合设置,可以实现所述第一部件和第二部件的独立温控或者是快速的温度切换。

今年以来中微公司新获得专利授权116个,与去年同期持平。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元,同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了31家企业,参与招投标项目92次;财产线索方面有商标信息131条,专利信息1745条,著作权信息13条;此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源:天眼查APP

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