国内半导体设备龙头3D DRAM刻蚀工艺获重要突破,半导体设备ETF易方达(159558)标的指数强势拉升
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2026-09-07 11:43:34
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截至2026年9月7日 10:14,半导体设备ETF易方达(159558)跟踪该指数中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.52%。

消息面上,9月5日,国内半导体设备龙头北方华创在IEEE期刊发表学术论文,公开了面向下一代3D DRAM存储芯片制造的两步循环刻蚀工艺。该技术专攻存储芯片走向3D堆叠时的高深宽比选择性刻蚀难题,在64对硅与硅锗交替层堆叠结构中实现超过95%的结构均匀度,硅锗与硅刻蚀选择比超过500比1,200纳米夹层结构中硅层单次损耗控制在10埃以内,可在缺少EUV极紫外光刻机的条件下完成关键制造步骤。据披露,相关刻蚀设备已完成客户验证、进入量产导入阶段。业界分析认为,若长鑫存储等本土厂商整合国产刻蚀设备与工艺,将显著提升3D DRAM自主量产可行性,绕过西方EUV光刻封锁、在下一代存储技术上拿到换道抢跑机会。

AI基础设施持续高景气,国盛证券指出博通AI半导体业务收入同比激增221%,定制XPU芯片出货量增长超3.5倍,并将2026财年AI半导体收入指引上调至580亿美元。为应对基板、先进封装及HBM供应瓶颈,产业链正加速扩产,台积电、日月光等大厂同步扩充产能。AI服务器需求亦强劲,戴尔相关订单积压达950亿美元,全年营收预期上调至740亿美元,反映底层硬件支撑仍处扩张周期。

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半导体设备ETF易方达(159558,联接基金A/C:021893/021894)跟踪中证半导体材料设备主题指数(931743),该指数选取沪深市场半导体材料和设备领域上市公司为样本,综合费率0.60%

芯片ETF易方达(516350,联接基金A/C:018411/018412)跟踪中证芯片产业指数,综合费率0.20%

科创芯片ETF易方达(589130,联接基金A/C:020670/020671)跟踪上证科创板芯片指数,综合费率0.60%

科创芯片设计ETF易方达(589030,联接基金A/C:027606/027607)跟踪上证科创板芯片设计主题指数,综合费率0.60%

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