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楚赟精工取得可调热回收装置和半导体生长设备专利，有利于提高外延生长效率以及生长质量

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2026-08-29 12:25:30

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国家知识产权局信息显示，楚赟精工科技（上海）有限公司取得一项名为“可调热回收装置和半导体生长设备”的专利，授权公告号CN224692283U，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本申请提供一种可调热回收装置和半导体生长设备，可调热回收装置包括集流结构、环形集热仓、第一及第二进管、第一及第二输送管。集流结构具有呈环形集流形腔，集流形腔顶部设集流进口，底部设集流出口。环形集热仓悬设于集流形腔内；环形集热仓内腔包括相互分隔的外环形腔和内环形腔。第一进管和第一输送管贯穿至集流形腔后与外环形腔内连通，以实现第一气体输送。第二进管和第二输送管贯穿至集流形腔后与内环形腔内连通，以实现第二气体输送。本申请可调热回收装置应用于半导体生长设备，既能根据实际需求选择实现对工艺废气热量的回收利用，和/或选择借助工艺废气热量来缓解冷区效应，实现可调选择性及有利于提高外延生长效率以及生长质量。

天眼查资料显示，楚赟精工科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，楚赟精工科技（上海）有限公司参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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