量芯光电申请惰性气体辅助像元平整刻蚀方法专利，提升器件性能和成品率_资讯

量芯光电申请惰性气体辅助像元平整刻蚀方法专利，提升器件性能和成品率

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2026-08-28 17:20:27

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国家知识产权局信息显示，安徽量芯光电科技有限公司申请一项名为“一种惰性气体辅助像元平整刻蚀方法”的专利，公开号CN122662308A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种惰性气体辅助像元平整刻蚀方法。包括：采用包含含氟气体和含氧气体的混合等离子体，对带有金属柱和介质层的ROIC晶圆进行刻蚀，刻蚀至金属柱完全暴露或微量暴露时停止；在完成第一步刻蚀后，停止通入含氟气体和含氧气体，通入惰性气体，利用惰性气体等离子体对所述ROIC晶圆表面进行刻蚀。通过将高选择比化学刻蚀与低选择比物理抛光刻蚀功能分离并结合，在控制第一步刻蚀时间以预防凹坑形成的基础上，利用第二步惰性气体物理溅射进行表面平滑和金属柱高度微调，实现了金属柱与介质层表面的高度平整，同时保持了金属柱的垂直圆柱形貌，为后续电极沉积提供了理想的界面基础，提升器件性能和成品率。

天眼查资料显示，安徽量芯光电科技有限公司，成立于2024年，位于滁州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽量芯光电科技有限公司参与招投标项目3次，专利信息30条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

方法显示进行投资器件辅助金属柱表面成品率专利气体氧气体惰性介质层

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