每经编辑：肖芮冬

8月28日，A股三大指数走势分化，上证指数飘红，涨幅0.12%，深证成指与创业板指分别飘绿，跌幅为0.21%和0.34%。在市场整体震荡的背景下，半导体设备板块表现承压。截至8月28日11时06分，半导体设备ETF国泰（159516）标的指数飘绿，跌幅达1.88%。

资金动向方面，半导体设备ETF国泰持续获得资金逆势布局。拉长时间周期来看，该ETF近30日资金净流入达42.59亿元。在资金持续净流入的背景下，产品规模保持高位，显示出投资者对半导体设备板块的长期配置意愿依然强烈。

从行业基本面来看，AI驱动的半导体设备上行周期依然稳健。广发证券指出，CD-SEM是前道制造中用量最大、覆盖面最广的核心电子束量测设备品类，随着制程节点向7nm及以下演进，传统光学量测在分辨率和局部结构识别上的局限性日益凸显，CD-SEM凭借亚纳米级电子束成像能力，成为光刻-刻蚀闭环控制中不可替代的尺寸标尺，CD-SEM市场国产替代进入加速验证期。此外，针对细分赛道龙头企业，华西证券点评中微公司指出，2026H1公司实现营收66.91亿元，同比+34.89%，实现扣非归母净利润11.23亿元，同比+108.36%，研发投入力度持续加大的同时费用率下降，反映规模效应显现。

半导体设备ETF国泰（159516）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。指数前十大成分股汇聚了中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业等半导体产业链核心企业。在当前AI产业驱动与国产替代加速的背景下，投资者可通过关注半导体设备ETF国泰（159516），一键布局半导体设备与材料领域的龙头企业。

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