8月25日晚,金辰股份发布公告,公司拟与江苏南通苏锡通科技产业园区管理委员会签订《投资协议书》,拟在江苏南通苏锡通科技产业园区投资设立“半导体装备研发及制造项目”,项目投资总额约为10亿元,资金来源为公司自有和自筹资金。
上证报中国证券网讯(记者 韩远飞)8月25日晚,金辰股份发布公告,公司拟与江苏南通苏锡通科技产业园区管理委员会签订《投资协议书》,拟在江苏南通苏锡通科技产业园区投资设立“半导体装备研发及制造项目”,项目投资总额约为10亿元,资金来源为公司自有和自筹资金。
金辰股份表示,项目拟新建现代化厂房和高标准洁净室,配套建设半导体装备应用工程实验室,并引进国内外高端核心工业母机及先进的实验检测仪器。项目核心将搭建以TGV玻璃基封装为代表的半导体设备生产试验线,旨在加快超快激光诱导改质设备、种子层沉积PVD磁控溅射设备、ALD、高温退火炉、PVD镀膜设备以及TGV通孔工艺流程AOI(自动光学检测与缺陷识别)设备等半导体专用设备的研发突破与制造验证。通过本项目的实施,公司将全面提升半导体装备技术水平,确保为客户提供高效、稳定、可靠的半导体专用工艺设备。