长信科技申请X射线传感器制备方法专利,可以有效提升非晶硅的膜厚均一性
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2026-08-20 13:26:53
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国家知识产权局信息显示,芜湖长信科技股份有限公司申请一项名为“X射线传感器、制备方法及触摸屏”的专利,公开号CN122590728A,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本发明公开了一种X射线传感器的制备方法,包括步骤:S1、提供一触摸屏载体;S2、在所述触摸屏载体上制作第一膜层,测量第一膜层的厚度,获得第一膜厚分布图;S3、基于所述第一膜厚分布图,在所述第一膜层远离触摸屏载体一侧制作第二膜层,测量第一膜层和第二膜层的总厚度,获得第二膜厚分布图;S4、基于所述第二膜厚分布图,在所述第二膜层远离触摸屏载体一侧制作第三膜层,测量第一膜层、第二膜层和第三膜层的总厚度,获得第三膜厚分布图。本发明的X射线传感器的制备方法,可以在每层膜层沉积后生成膜厚分布图,下一层沉积时根据前层缺陷区域调整工艺参数,可以有效提升非晶硅的膜厚均一性,改善非晶硅的电学特性。本发明还公开了一种X射线传感器和一种触摸屏。

天眼查资料显示,芜湖长信科技股份有限公司,成立于2006年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本249773.3579万人民币。通过天眼查大数据分析,芜湖长信科技股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目55次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息648条,此外企业还拥有行政许可78个。

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来源:市场资讯

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