华虹半导体申请提高喷淋头使用寿命的方法专利，显著提高薄膜均匀性和喷淋头使用寿命
创始人
2026-08-15 11:03:39
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国家知识产权局信息显示，华虹半导体制造（无锡）有限公司申请一项名为“提高喷淋头使用寿命的方法”的专利，公开号CN122564506A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明提供一种提高喷淋头使用寿命的方法。该方法包括：对半导体工艺腔体进行清洗工艺，半导体工艺腔体内设置有喷淋头；在清洗工艺之后，对半导体工艺腔体进行预热工艺，其中，在步骤二中，向半导体工艺腔体内引入反应物质，反应物质与喷淋头表面残留的氟离子反应生成气态氟化物，以去除喷淋头表面残留的氟离子；在预热工艺之后，在半导体工艺腔体内进行沉积工艺。本申请能够有效清除喷淋头表面的氟离子，阻止氟化铝形成，从而显著提高薄膜均匀性和喷淋头使用寿命。
天眼查资料显示，华虹半导体制造（无锡）有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体制造（无锡）有限公司参与招投标项目378次，专利信息246条，此外企业还拥有行政许可233个。
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来源：市场资讯
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