目前7nm以下的所有先进工艺的芯片,都是通过EUV光刻机制造出来的。
一定程度上来讲,EUV光刻机,是先进芯片的引擎,没有这个EUV,先进芯片就制造不出来,这也是ASML为何能够一直强大的原因,因为EUV只有它一家能造。
ASML也在不断的升级EUV,从NA=0.33的EUV,升级到了NA=0.55的 High NA EUV,后续可能还会有NA=0.77的 Hype NA EUV。
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不过,最近有芯片专家称,别看EUV地位独特,但是从芯片发展的角度来看,EUV目前已经成为先进芯片的最大瓶颈了,特别是ASML+EUV,成为了先进芯片发展的一个障碍。
芯片制造的本质,其实是在硅片上不断“打印”越来越微小的电路结构,而这个“打印”,就是通过EUV光刻机,再加上刻蚀机等设备协同工作。
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为了让“打印”越来越精细,提高这个“打印”的分辨率,光刻机用上了更高功率EUV光源、更大的反射镜系统、更复杂的真空环境、更高精度的运动控制。
而这些因素,导致EUV光刻机造价昂贵,现在的High NA EUV一台高达4亿美元,已经让绝大部分的晶圆企业用不了。
同时一台EUV光刻机,包含了超过10万个精密零件,全球数千家供应商参与系统集成,并且整机重量超过180吨。
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这也导致接下来,对于EUV光刻机而言,任何一个改进,都是一件非常难的事情。
再加ASML将全球EUV光刻机的供应链都绑在了战车上,其它厂商,几乎难以搞定这些供应链,全部是ASML说了算。
ASML为了自己的利益,已经不允许其它形式的EUV光刻机出现,也不会允许另外的路线出现,来挑战EUV光刻机的地位。
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所以,现在的芯片发展,就只能去依赖ASML继续研发EUV光刻机,但这条路,越来越难以走通,所以先进芯片接下来的发展,真的是被ASML+EUV限制住了。
目前虽然有企业在研发新的路,比如NIL、BLE等等,但因为有ASML在前面,一旦这些路线有了一定的起色,说不定ASML都会出手干扰,更是会联合既得利益者出手封锁。
所以芯片专家才称,ASML+EUV事实上,已经成为了先进芯片前进的最大障碍,这也是目前为何摩尔定律失效的原因之一,因为大家都只能押宝在ASML的EUV光刻机上了。