微成半导体取得用于晶圆的药液收集装置专利,操作较为简单且节省使用成本
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2026-07-23 05:16:19
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国家知识产权局信息显示,微成半导体设备(苏州)有限公司取得一项名为“一种用于晶圆的药液收集装置”的专利,授权公告号CN224525173U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于晶圆的药液收集装置,用于收集晶圆甩出的药液,所述药液收集装置包括可移动的第一摆臂,所述第一摆臂上设有出液口,所述出液口位于所述晶圆的上方以对旋转的晶圆进行喷淋药液,所述药液收集装置还包括能够在上下方向上移动的保护罩,所述保护罩包括本体以及与所述本体连接的导向件,一个所述本体对应一个或多个所述导向件,相邻的两个所述保护罩或相邻的两个所述导向件之间形成一进液通道。本实用新型的药液收集装置操作较为简单且节省使用成本。

天眼查资料显示,微成半导体设备(苏州)有限公司,成立于2025年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,微成半导体设备(苏州)有限公司财产线索方面有商标信息2条,专利信息6条。

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来源:市场资讯

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