截至2026年5月25日13:25，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨5.98%，成分股华兴源创、盛美上海涨停，中芯国际上涨18.03%，拓荆科技，艾森股份等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨5.80%。

消息面上，国内存储芯片龙头资本化进程加速，半导体设备订单确定性愈发凸显。长鑫科技科创板IPO已定将于5月27日上会，长江存储也于日前启动IPO辅导，拟登陆科创板。长鑫存储与长江存储扩产节奏明确。前者2026年二季度正式开启招投标，全年计划扩产5-6万片，设备采购需求达50-60亿美元；后者2号厂房机台工艺设备管线购装项目已于5月14日启动招标。

中原证券表示，国内半导体设备厂商不断提升工艺覆盖度及突破先进制程，随着国内主要晶圆厂加速扩产，国内半导体设备厂商国产替代有望持续加速推进，建议关注国内半导体设备及零部件厂商投资机会。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

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