微导纳米获得发明专利授权：“一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备”_资讯

微导纳米获得发明专利授权：“一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备”

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2026-04-04 07:48:38

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备”，专利申请号为CN202310836191.4，授权日为2026年4月3日。

专利摘要：本申请提供一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备，加热盘包括多个调温区域，调温区域包括金属回路。方法包括：在工艺过程中的多个第一固定时间段对每个调温区域进行多次温度采样，以及在工艺结束后的第二固定时间段对每个调温区域进行温度采样，得到每个调温区域的多个采样温度值。将采样温度值和设定温度值进行计算分析，得到每个调温区域的校正温度值。获取每个调温区域的校正温度值和实施校正温度值时金属回路的电流值的对应关系，这样就可以根据对应关系以及实施校正温度值时金属回路的电流值控制每个调温区域的实际温度值。施加校正温度值后得到的实际温度值趋近设定温度值，实现对加热盘每个调温区域的温度准确控制。

今年以来微导纳米新获得专利授权23个，较去年同期减少了4.17%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息612条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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企业方法信息方面天眼导体导纳专利区域温度控制温度温度值加热盘

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