ASML申请多节距SEM套刻标记和缝合区域算法专利，确定半导体制造中的缝合套刻和其他量测参数_资讯

创始人

2026-03-27 02:17:36

0次

国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“多节距SEM套刻标记和缝合区域算法”的专利，公开号CN121729645A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，公开了用于确定半导体制造中的缝合套刻和其他量测参数的改进系统和方法。所述系统和方法可以包括获取检查系统的单个视场内的多个套刻标记的测量图像；单独调谐针对每个套刻标记的所述测量图像的所述图像处理算法参数，以确定每个套刻标记的测量值；以及比较所述测量值以确定所述缝合套刻或其他量测参数。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

制造算法投资参数标记测量其他导体专利区域测量值荷兰有限公司节距

每周股票复盘：西部超导（688... 截至2026年3月27日收盘，西部超导（688122）报收于71.8元，较上周的71.18元上涨0....

每周股票复盘：华脉科技（603... 截至2026年3月27日收盘，华脉科技（603042）报收于20.47元，较上周的19.83元上涨3...

每周股票复盘：路维光电（688... 截至2026年3月27日收盘，路维光电（688401）报收于48.5元，较上周的47.04元上涨3....

恒生电子获得发明专利授权：“业... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示恒生电子（600570）新获得一项发明专利授权，专利名为“业务...

中微公司获得发明专利授权：“半... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导...

每周股票复盘：沙河股份（000... 截至2026年3月27日收盘，沙河股份（000014）报收于15.34元，较上周的14.56元上涨5...

开源芯片产业落地有了新路径努力实现信息技术的自主演进，中国又交出了一份漂亮的答卷。在日前举办的2026中关村论坛年会——RI...

每周股票复盘：超颖电子（603... 截至2026年3月27日收盘，超颖电子（603175）报收于87.53元，较上周的87.21元上涨0...

每周股票复盘：航天电子（600... 截至2026年3月27日收盘，航天电子（600879）报收于21.22元，较上周的21.61元下跌1...

每周股票复盘：泰晶科技（603... 截至2026年3月27日收盘，泰晶科技（603738）报收于26.19元，较上周的23.08元上涨1...