扬子晚报网3月23日讯（记者 姜婧仪 通许员 江融宣）在半导体晶圆厂的洁净室里，一辆辆承载着价值千万晶圆的磁驱“天车”在空中轨道上轻盈穿梭，成为芯片诞生过程中最独特的风景线。在即将召开的全球规模最大的半导体专业展览会SEMICON China上，位于江宁开发区的专精特新“小巨人”企业——江苏道达智能科技有限公司将放出“大招”：携最新研发的第二代半导体磁驱天车“腾龙”亮相。公司董事长孙俊杰透露，首台套磁驱天车“腾龙”预计于今年6月份交付使用。

磁驱“天车” 在空中轨道上轻盈穿梭

自动物料搬运系统（AMHS）就成为半导体制造工厂中不可或缺的高科技物流系统，它通过快速精准搬运物料载体，突破了传统人力搬运在机台间的效率瓶颈，而“天车”就是这套系统中的核心设备。

过去很长一段时间里，半导体的天车市场，大多采用国外的系统和技术。“只有把核心技术掌握在我们自己手上，才能真正为产业、为客户更好地解决问题。”孙俊杰对公司的长远发展有着清晰的认识。

磁驱“天车” 在空中轨道上轻盈穿梭

从2017年开始，道达就瞄准天车控制系统，从软件入手，再到具体轨道的车轮磨损、滑轨材料、供电方式，进行全部自研。几年来，道达积累了大量的发明专利，成功开发出国产首套5.3米/秒高速天车系统，打破了国外长达20多年的垄断，成为目前国内唯一通过自研实现量产的天车系统厂商。

如今，公司在第一代旋转伺服天车“麒麟”的基础上，持续攻克技术难题，成功研制出磁驱天车“腾龙”，该产品实现了关键零部件100%国产化。与第一代产品相比，“腾龙”采用了自主研发的磁悬浮无接触驱动技术，运输过程中实现零磨损、零粉尘，从根本上解决洁净度问题，同时实现微米级的精准定位。

不仅如此，第二代产品还装上了“最强大脑”——配备了自主研发的三层智能调度系统，通过AI算法进行预测行为和故障自愈，实现一个后台管理千台设备。

“经过测试，‘腾龙’的直行速度已经从一代产品的5.3米/秒提高到6米/秒，定位精度提升到±0.5毫米，振动降至0.25g，这意味着新一代天车更快、更稳、更精准。” 孙俊杰表示。

校对 陶善工