国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN121712322A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:在衬底顶部形成鳍部,在鳍部的延伸方向上对鳍部进行鳍切处理,形成开口,之后在开口侧壁形成保护层,形成保护层后,在鳍部露出衬底上形成隔离层,隔离层的顶部低于鳍部的顶部,且覆盖鳍部的部分侧壁。由于在鳍部切断处的开口侧壁形成保护层,因此,在后续形成隔离层的制程中,保护层能够起到保护开口侧壁的作用,即保护层能够保护鳍部的切断处,从而降低鳍部在切断处的损耗,相应提高鳍部的质量和性能,从而提高半导体结构的性能,例如,通过降低在开口中形成隔离层的制程中对鳍部在切断处的损耗,在后续形成源漏掺杂层的过程中,则降低鳍部在切断处出现倒塌问题的概率,进而改善后续形成源漏掺杂层的形貌。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目116次,财产线索方面有商标信息153条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可447个。
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来源:市场资讯