安徽晶微科技申请一种晶圆划片方法专利,提高芯片边缘的平滑程度
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2026-03-19 02:40:30
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国家知识产权局信息显示,安徽晶微科技有限公司申请一项名为“一种晶圆划片方法”的专利,公开号CN121670836A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆技术领域,公开了一种晶圆划片方法,将晶圆放置在划片机中进行划片,其中,进刀速度为2~5m/s或1m/s,晶圆包括衬底和镀层,衬底的材质为硅,镀层从上而下为硫化锌层和锗层。本方法可以在划片过程中,减少晶圆的崩边概率,提高芯片边缘的平滑程度。

天眼查资料显示,安徽晶微科技有限公司,成立于2025年,位于滁州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽晶微科技有限公司专利信息32条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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