亚威光电取得双通道光学成像晶圆缺陷检测系统专利_资讯

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2026-03-19 02:03:26

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国家知识产权局信息显示，中山亚威光电科技有限公司取得一项名为“一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统”的专利，授权公告号CN119985504B，申请日期为2025年3月。

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来源：市场资讯

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