北方华创申请门阀机构及半导体工艺设备专利，减少真空机械手的等待时间提高设备产能_资讯

北方华创申请门阀机构及半导体工艺设备专利，减少真空机械手的等待时间提高设备产能

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2026-03-18 04:13:08

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“门阀机构及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121693062A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种门阀机构及半导体工艺设备，门阀机构包括：多个门阀，每个门阀均沿第一方向可移动地设置，门阀通过沿第一方向移动打开或关闭对应的门结构；第一联动机构，可移动地设置，第一联动机构与多个门阀驱动配合，第一联动机构通过移动驱动多个门阀沿第一方向同步移动，以使多个门阀同步打开或关闭各自对应的门结构。本发明的门阀机构通过设置第一联动机构，可以通过第一联动机构与多个门阀驱动配合，从而可以通过移动第一联动机构驱动多个门阀同步移动，从而实现多个门阀的同步打开或关闭。与现有技术相比，由于采用机械连接，可以有效保证门阀间的同步性，从而减少真空机械手的等待时间，提高设备产能。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1393次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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