大族半导体取得晶圆加工装置及激光加工设备专利,起到减缓振动的效果
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2026-03-13 15:54:17
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国家知识产权局信息显示,深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“晶圆加工装置及激光加工设备”的专利,授权公告号CN223993868U,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本申请公开一种晶圆加工装置及激光加工设备,晶圆加工装置包括机架、防护机构、旋转机构、滑动机构和升降组件,防护机构包括第一安装座,旋转机构包括第二安装座,第一安装座上设有用于供第二安装座通过的通孔,滑动机构围绕第二安装座的外周设置,使第二安装座与机架滑动连接,且滑动方向沿着通孔的轴向;升降机构则设于第二安装座下方,用于驱动旋转机构沿着通孔的轴向滑动。多组滑动机构的环绕设置,使第二安装座周向和径向的自由度被约束,即使因旋转机构产生振动,机架与第二安装座之间的连接更加紧密,配合间隙更小,其振幅也会大大减小,起到减缓振动的效果。

天眼查资料显示,深圳市大族半导体装备科技有限公司,成立于2018年,位于深圳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目251次,专利信息851条,此外企业还拥有行政许可18个。

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来源:市场资讯

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