弥费科技申请半导体存储系统及载具调度控制方法专利,提高天车作业灵活性及效率
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2026-03-07 16:01:45
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国家知识产权局信息显示,弥费科技(上海)股份有限公司申请一项名为“半导体存储系统及载具调度控制方法”的专利,公开号CN121620148A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请提供了一种半导体存储系统及载具调度控制方法。包括至少一个塔式存储库以及两个并列设置的传送装置;传送装置包括固定框架;多个载具放置位固定设置于固定框架上,用于接收和/或暂存晶圆盒;双直线导轨固定设置于固定框架上且位于多个载具放置位的下方,其延伸方向经过多个载具放置位;至少一个运载装置可移动地设置于双直线导轨上,运载装置包括:横移组件、升降组件、旋转组件以及载具承托部;控制单元与横移组件、升降组件以及旋转组件信号连接,用于控制运载装置移动至目标载具放置位下方并执行晶圆盒的拾取和运送。本申请实施例可以适配大跨度作业场景,空间利用率高,而且能提高天车作业灵活性及效率。

天眼查资料显示,弥费科技(上海)股份有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4657.9401万人民币。通过天眼查大数据分析,弥费科技(上海)股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目30次,财产线索方面有商标信息51条,专利信息179条,此外企业还拥有行政许可17个。

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来源:市场资讯

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