贝尔金申请半导体设备振动控制方法专利,实现了控制回路的精准构建与自适应优化
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2026-03-07 16:01:25
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国家知识产权局信息显示,贝尔金减振设备制造(昆山)有限公司申请一项名为“一种基于半导体设备振动控制方法、设备及介质”的专利,公开号CN121613969A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于半导体设备振动控制方法、设备及介质,涉及振动控制技术领域,包括,向多个半导体压电作动器施加预设宽频探测信号,同时通过多个半导体振动传感器采集振动响应数据;根据振动响应数据与预设宽频探测信号,计算每个半导体压电作动器与每个半导体振动传感器之间的传递熵值,依据传递熵值建立控制回路配对映射表;将控制指令转换为驱动电压信号,驱动半导体压电作动器产生抑制振动的机械形变,并采集抑制后的残余振动数据;根据抑制后的残余振动数据更新控制回路配对映射表与本地效用函数参数。本发明通过计算半导体压电作动器与振动传感器之间的传递熵值并建立动态配对映射表,实现了控制回路的精准构建与自适应优化。

天眼查资料显示,贝尔金减振设备制造(昆山)有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本800万人民币。通过天眼查大数据分析,贝尔金减振设备制造(昆山)有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息40条,此外企业还拥有行政许可3个。

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来源:市场资讯

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