武汉新芯申请半导体器件及其制造方法专利,减小寄生电容
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2026-03-07 14:31:26
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国家知识产权局信息显示,武汉新芯集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN121620189A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件及其制造方法,所述半导体器件包括:SOI衬底,包括自下向上堆叠的下层衬底、绝缘埋层和半导体层;第一通孔结构,填充所述SOI衬底中的第一通孔,所述第一通孔贯穿所述SOI衬底,所述第一通孔结构包括衬垫结构和金属层,所述衬垫结构包括依次堆叠于所述第一通孔侧壁的低介电常数层、应力缓冲层、绝缘层和扩散阻挡层,所述金属层填充所述第一通孔。本发明使得能够减小寄生电容以及提高半导体器件的可靠性。

天眼查资料显示,武汉新芯集成电路股份有限公司,成立于2006年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本847900.6412万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉新芯集成电路股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目223次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息1833条,此外企业还拥有行政许可106个。

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来源:市场资讯

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