半导体设备技术业绩双向好，半导体设备ETF易方达（159558）热度攀升
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2026-03-03 12:17:49
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3月3日，截至10:35，半导体材料设备指数下跌2.87%，热门个股，江丰电子涨超1%。
热门ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）连续2日净流入，累计流入1.20亿元。
消息面上，3月3日，国家知识产权局信息显示，中微半导体申请“一种分体式晶圆托盘和半导体设备”专利，可降低部件温差破裂风险、提升晶圆成膜质量；无锡尚积半导体取得“用于镀膜设备的防粒子沉积遮件”专利授权。同日，半导体设备核心零部件专精特新“小巨人”臻宝科技科创板IPO申请将于3月5日上会，其产品已进入国内外主流晶圆厂供应链。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
半导体设备ETF易方达（159558）场外联接基金为（021893、021894）。
风险提示：基金有风险，投资需谨慎。
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