宸微设备科技申请底座装置及半导体设备专利，降低前驱体在波纹管内壁沉积概率_资讯

宸微设备科技申请底座装置及半导体设备专利，降低前驱体在波纹管内壁沉积概率

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2026-02-28 21:19:43

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国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“底座装置以及半导体设备”的专利，公开号CN121575373A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，一种底座装置以及半导体设备，底座装置工作时，吹扫结构向波纹管内部提供正压气体，从而在波纹管的内部空间形成动态的正压气体，形成气封，气封能够阻挡外部的前驱体气体进入波纹管的内部，即使外部的前驱体气体进入波纹管内，也可以被正压气体稀释，从而降低前驱体在波纹管内壁沉积的概率。同时，温度调节组件用于对底座本体进行加热或冷却，能够利用热传导主动调节与底座本体连接的波纹管的温度，能够在采用不同工艺前驱体时，让波纹管维持在不同的目标温度区间，例如，通过对底座本体加热，来使波纹管的温度高于前驱体的冷凝点以抑制冷凝，或让波纹管的温度低于前驱体的化学反应温度，来抑制不期望的化学沉积。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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