路维光电申请掩膜版超大缺陷修补专利,修补牢固性强
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2026-02-27 10:14:37
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国家知识产权局信息显示,成都路维光电有限公司申请一项名为“一种掩膜版超大缺陷的修补金液及修补方法”的专利,公开号CN121574689A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种掩膜版超大缺陷的修补金液及修补方法,将修补金液滴在掩膜版上铬层缺失的位置;使用UV灯,先从掩膜版石英玻璃所在一侧照射金液1 min初步固化,再从掩膜版两侧同时照射金液10 min完全固化,修补金液包括如下质量份数组分:酚醛环氧树脂23~27份、聚氨酯丙烯酸酯预聚物14~16份、铬粉末20~25份、单官能丙烯酸酯单体8~12份、二官能丙烯酸酯单体14~16份、光引发剂2~4份、稳定剂0.5~1份、交联剂0.5~2。本发明通过配置具有特殊组合与配比的金液,能够实现掩膜版铬层>200um超大缺陷的有效修复,具有修补效率高、修补牢固性强、耐酸、耐碱等优点。

天眼查资料显示,成都路维光电有限公司,成立于2017年,位于成都市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本34500万人民币。通过天眼查大数据分析,成都路维光电有限公司参与招投标项目9次,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可84个。

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来源:市场资讯

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