泉芯半导体申请旋喷式湿法一体机专利，避免溶剂挥发气体积聚产生安全隐患_资讯

泉芯半导体申请旋喷式湿法一体机专利，避免溶剂挥发气体积聚产生安全隐患

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2026-02-26 21:41:31

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国家知识产权局信息显示，泉芯半导体科技（无锡）有限公司申请一项名为“一种旋喷式湿法一体机”的专利，公开号CN121568541A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开一种旋喷式湿法一体机，其包括机架、处理筒、供液部和抽气部，机架内沿高度方向设置有上部区域和下部区域，上部区域安装有处理筒，下部区域设置有供液部，供液部包括多个供液单元，供液单元给处理筒供给制程工艺所用的溶剂；供液单元包括箱体、空气泵和储液罐，储液罐储存处理工艺所用的溶剂，储液罐通过管路与空气泵相连通，空气泵至少提供溶剂流动的动力；抽气部包括第一抽气单元和第二抽气单元，第一抽气单元抽取上部区域内的挥发性气体，第二抽气单元抽取箱体中的挥发性气体。该旋喷式湿法一体机通过抽气部的第一、第二抽气单元分别抽取上部区域与供液箱体的挥发性气体，实现全域排气管控，避免溶剂挥发气体积聚产生安全隐患。

天眼查资料显示，泉芯半导体科技（无锡）有限公司，成立于2020年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，泉芯半导体科技（无锡）有限公司参与招投标项目5次，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业挥发显示溶剂气体投资单元处理泉芯专利抽气部储液罐供液

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