芯迈半导体申请半导体功率器件及其制备方法专利,降低器件的总导通电阻
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2026-02-24 12:40:40
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国家知识产权局信息显示,芯迈半导体技术(杭州)股份有限公司申请一项名为“一种半导体功率器件及其制备方法”的专利,公开号CN121568398A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体功率器件及其制备方法,制备方法至少包括步骤:提供第一导电类型衬底,在衬底上生长第二导电类型外延层,衬底与外延层之间形成有第一导电类型的沟道层,形成第一沟槽,并形成场氧化层于第一沟槽的侧壁上,形成第二沟槽,形成栅氧化层于第二沟槽的内壁上并覆盖场氧化层,形成填充于第二沟槽内的多晶硅层,形成层间介质层于外延层上,形成至少两个第一通孔,形成第二导电类型漏区于外延层的上表层,形成第一金属线路层,形成金属间介质层于层间介质层上,并刻蚀形成第二通孔,形成第二金属线路层。本发明的半导体功率器件的制备方法能够降低共源极双向导通型SGT MOSFET器件CSP封装的工艺难度,降低成本,并进一步降低器件的总导通电阻。

天眼查资料显示,芯迈半导体技术(杭州)股份有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,芯迈半导体技术(杭州)股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息20条,专利信息211条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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