至纯科技申请IPA瞬热加热器专利,提供安全可靠的半导体清洗干燥工艺加热解决方案
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2026-02-19 00:13:32
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国家知识产权局信息显示,上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请一项名为“一种IPA瞬热加热器”的专利,公开号CN121539937A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了半导体设备领域的一种IPA瞬热加热器,包括外壳、加热芯和位于外壳内的加热管路,外壳内形成密闭的容纳腔,加热芯对管路内的IPA介质进行热传导加热,外壳设有进气口和出气口,容纳腔内充有相较于外界气压呈正压的惰性保护气体。本发明的加热器在设备出口端进行二次加热,避免了大量高温IPA在长管路中滞留的风险,本发明以出口端加热配合惰性气体保护的方式,提供了一种安全且可靠的半导体清洗干燥工艺加热解决方案。

天眼查资料显示,上海至纯洁净系统科技股份有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38671.777万人民币。通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业,参与招投标项目77次,财产线索方面有商标信息70条,专利信息337条,此外企业还拥有行政许可45个。

至微半导体(上海)有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析,至微半导体(上海)有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目33次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息300条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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