华力集成申请三维MIM电容器测试结构专利，提升晶圆可接受性测试的准确性_资讯

华力集成申请三维MIM电容器测试结构专利，提升晶圆可接受性测试的准确性

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2026-02-18 16:12:29

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国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“三维MIM电容器的测试结构及其制备方法、测试方法”的专利，公开号CN121548278A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供了一种三维MIM电容器的测试结构及其制备方法、测试方法，三维MIM电容器的测试结构包括第一互连层、第一隔离层、第一电极层、电容介质层、第二电极层、第二隔离层、导电插塞以及第二互连层，第一互连层包括网格状的第一导电线，第二互连层包括网格状的第二导电线，第二导电线通过导电插塞与第二电极层电性连接，从而对三维MIM电容器产品内部的工艺及性能进行监测，提升晶圆可接受性测试（WAT）的准确性。

天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2095次，专利信息2708条，此外企业还拥有行政许可397个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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