山东力冠申请氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构专利，可有效减小晶圆边缘的膜厚偏差_资讯

山东力冠申请氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构专利，可有效减小晶圆边缘的膜厚偏差

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2026-02-18 13:42:16

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国家知识产权局信息显示，山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构”的专利，公开号CN121538729A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构，属于氮化物半导体HVPE设备与外延技术领域，技术方案为，一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构，包括从内到外依次嵌套且同轴设置的内环、中环和外环；内环底部设置有齿尖朝下的第一锯齿，第一锯齿的齿高为第二喷气腔喷口宽度的1/2至1.5倍，第一锯齿的齿距为第二喷气腔喷口宽度的2倍至4倍；中环底部设置有齿尖朝下的第二锯齿，第二锯齿的齿高为第二喷气腔喷口宽度的1倍至2.5倍，第二锯齿的齿距为第二喷气腔喷口宽度的1.5倍至3倍。有益效果在于，可实现在喷口处抑制湍流，确保惰性隔离气体的隔离效果，进而有效减小晶圆边缘的膜厚偏差。

天眼查资料显示，山东力冠微电子装备有限公司，成立于2013年，位于济南市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币。通过天眼查大数据分析，山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目83次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息61条，此外企业还拥有行政许可10个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业氮化物投资半导体喷头环形结构边缘专利力冠锯齿喷口气腔

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