求是半导体等申请碳化硅激光隐形切割方法专利,提高碳化硅晶体切割效果
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2026-02-17 23:14:38
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国家知识产权局信息显示,浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司申请一项名为“一种碳化硅激光隐形切割方法和装置”的专利,公开号CN121535352A,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体材料加工领域,尤其是涉及一种碳化硅激光隐形切割方法和装置,切割方法包括:所述激光器沿第n预设轨迹切割碳化硅晶体,所述检测器获取第n预设轨迹上碳化硅晶体表面的面型数据;所述激光器沿第n+1预设轨迹切割碳化硅晶体,基于第n预设轨迹上碳化硅晶体表面的面型数据,调整激光器焦点位置,使所述焦点到碳化硅晶体表面距离等于或基本等于预设深度。通过相邻切割轨迹的检测与反馈,同步移动的激光器与检测器,利用前一轨迹的面型数据调整下一轨迹的焦点位置,达到提高碳化硅晶体切割效果的技术效果。

天眼查资料显示,浙江求是半导体设备有限公司,成立于2018年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江求是半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目26次,专利信息337条,此外企业还拥有行政许可10个。

浙江晶盛机电股份有限公司,成立于2006年,位于绍兴市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本130953.3797万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了36家企业,参与招投标项目218次,财产线索方面有商标信息71条,专利信息1155条,此外企业还拥有行政许可40个。

浙江晶瑞电子材料有限公司,成立于2014年,位于绍兴市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本172571.428572万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶瑞电子材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可18个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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