北方华创申请炉门装置及半导体热处理设备专利，降低了炉门外圈形变造成密封失效的风险_资讯

北方华创申请炉门装置及半导体热处理设备专利，降低了炉门外圈形变造成密封失效的风险

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2026-02-16 17:44:59

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“炉门装置及半导体热处理设备”的专利，公开号CN121520857A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请提供一种炉门装置及半导体热处理设备，炉门装置包括炉门外圈和炉门主体，炉门外圈用于与炉体连接，并配合所述炉体压紧炉体密封圈；炉门主体包括炉门内圈和炉门板，所述炉门内圈位于所述炉门外圈的内侧，并与所述炉门外圈密封连接，所述炉门板固定在所述炉门内圈的内侧，所述炉门板可在炉门外圈的轴向上产生弹性变形。炉门装置采用分体式结构，炉体密封圈设置在炉门外圈和炉体之间。炉门板为炉门主体的主要受热部位，炉门板在径向上的形变受到炉门内圈的约束。因而受热形变时，炉门板的形变主要向炉门主体的轴向上释放，减小了在径向上对炉门外圈的挤压，进而减小了炉门外圈的变形，降低了炉门外圈形变造成密封失效的风险。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1384次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业炉门投资华创装置外圈导体热处理形变专利炉体内圈炉门板

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