润华全芯申请匀胶显影设备的基板作业方法专利，提高半导体长制程系统的灵活性、稳定性和可靠性_资讯

润华全芯申请匀胶显影设备的基板作业方法专利，提高半导体长制程系统的灵活性、稳定性和可靠性

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2026-02-14 21:43:16

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国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“匀胶显影设备的基板作业方法、匀胶显影设备及系统”的专利，公开号CN121522960A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明申请涉及匀胶显影设备，属于半导体制造及微纳加工技术领域，匀胶显影设备的基板作业方法应用于包括中央搬运通道以及于所述中央搬运通道两侧垂直堆叠设置的多层工艺处理单元的设备，其中中央搬运通道内具有对应每一层所述工艺处理单元独立设置的机器人传输系统，包括：将一批次的多个基板分配至所述多层工艺处理单元中的至少两个不同层级；在所述至少两个不同层级内，由各层级对应的机器人传输系统独立地完成基板在本层级内的工艺处理和传输作业，以实现所述多个基板的并行处理。本发明申请在架构上优化配置不同功能单元的数量比例，主动匹配工艺节拍，从根本上消除流程瓶颈，提高了半导体长制程系统的灵活性、稳定性和可靠性。

天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目160次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息178条，此外企业还拥有行政许可22个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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