苏州惟光探真申请自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统专利，提高了光谱采集的信号稳定性和可重复性_资讯

苏州惟光探真申请自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统专利，提高了光谱采集的信号稳定性和可重复性

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2026-02-14 17:11:44

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国家知识产权局信息显示，苏州惟光探真科技有限公司申请一项名为“自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统”的专利，公开号CN121499450A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请涉及一种自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统，包括：光处理组件，光处理组件包括光路模组及镜头模组，镜头模组接入光路模组，镜头模组靠近晶圆样品设置；检测仪和激光发生器，检测仪和激光发生器一一对应接入光路模组，激光发生器用以提供光束；其中，光路模组包括拉曼滤光片、分束片和离焦量传感器，分束片位于拉曼滤光片和镜头模组之间，光束依次经过拉曼滤光片、分束片和镜头模组形成一检测光路；样品能够反射透过镜头模组的光束，反射的光束透过镜头模组返回检测光路；光束在通过分束片时发散，一部分光束导向镜头模组或拉曼滤光片，另一部分光束导向离焦量传感器。减少了额外的测量光束简化光路，提高了光谱采集的信号稳定性和可重复性。

天眼查资料显示，苏州惟光探真科技有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本333.3333万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州惟光探真科技有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

光谱自动化镜头光束光路导体模组专利拉曼苏州分束片

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